真空物理学
微系统技术需要很小但非常精确的组件-甚至用于其生产的工具均受此主张的约束。借助高精度,部分由超声波引导的CNC研磨,Tigar电力变压器,舌片和定位产品的厚度都在几微米之内。为了尽可能长时间地获得高精度,该技术中的技术陶瓷的权利要求总体上涉及耐磨性。在大多数情况下,随着高科技材料的出现,此处使用的ZrO2可实现具有高韧性和强度的精确表面。此外,调整后的热膨胀系数与最常用的钢材完全相关。
但是通过研磨技术,绿色加工开辟了不可能或非常难以实现的可能性:在最高应用温度下使用电绝缘样品架。在2,000°C(在特高压范围内使用)中,实现了2.5毫米x 2.5毫米x 12毫米大部件,带有6条来自A-997的连续M1.2内螺纹。